洁净室中的气压规定：对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。因为洁净室内可能存在大量灰尘、污垢颗粒、有害化学物质和其他污染物等。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
10万级洁净室
洁净室中的气压规定：对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。因为洁净室内可能存在大量灰尘、污垢颗粒、有害化学物质和其他污染物等。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
实验室净化工程为客户提供的是一站式“交钥匙”工程，降低了采购成本，可减少客户大量的精力、物力和人力的投入，客户无需考虑过多的技术细节问题。活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积，能与气体（杂质）完全接触，这使得活性炭具有吸附性能，很容易达到吸收和收集杂质的目的。有了整体实验室净化工程解决方案，就如同为客户提供一个统一的界面，将所有的设备供应商、工程承包商、服务供应商整合在一起，系统化的进行设备配置，保证了整个实验室的容量和设备间的配套，满足当前和未来发展的需要。
可以认为,当今微污染控制领域诸多科技成果的出现无不与集成电路生产的飞速发展有关。集成电路工厂的前工序(硅片加工)对微环境控制为严格。当管径小于300mm时,可选用直管式消声器,大于300mm时,应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。我国对防微振的研究及工程实践始于20世纪60年代初期,经历了几代人的努力,不仅建立和完善了防微振理论,开发了防微振用系列化隔振产品。
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