本底
“本底”是指在色谱载气中含有的被测杂质气体,配标准气用底气中含的被测杂质气;测试系统(载气系统与样品气系统)带来的或被漏入的(以氧、氮为主)该杂质气。大多数浓度型检测器都要求本底值远小于它的l小检测浓度。当载气中本底值大于样品气中某杂质浓度时,该杂质气会出现“反峰”。配制标准气的底气要求就更严格了,否则本底值直接影响定量了。但是质量检测器(以火焰离子化检测器为主的)
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本底
“本底”是指在色谱载气中含有的被测杂质气体,配标准气用底气中含的被测杂质气;测试系统(载气系统与样品气系统)带来的或被漏入的(以氧、氮为主)该杂质气。大多数浓度型检测器都要求本底值远小于它的l小检测浓度。当载气中本底值大于样品气中某杂质浓度时,该杂质气会出现“反峰”。配制标准气的底气要求就更严格了,否则本底值直接影响定量了。但是质量检测器(以火焰离子化检测器为主的)是例外。我们在检测氧中烃类杂质时发现,用纯氮气(4个“9”)作载气(氢气和空气相同),也能检测到0.1ppm的烃(一般国产色谱仪),乃至20—50ppm的烃杂质气。这是因为载气中的杂质(氧、氢、一氧化碳、二氧化碳FID上无响应,含量≤5ppm)因浓度不变,只能使检测器(FID)产生一个相应稳定的“基流”,只要基数平衡、噪声小,0.1ppm的烃类杂质气仍旧可以在基线上出一个峰。气相色谱定量规定,l小的检测峰的判定:l小的峰峰高值是二倍于噪声值。过去国产仪器只能检测0.1ppm的烃是因为仪器的总噪声值较高。该技术由公司自主研发,工艺l大特点是以廉价中低阶粉煤、粉状石灰作原料,可替代高阶煤炭、兰炭、焦炭、块状石灰等原料,能够重塑能源生产与消费体系,为推动绿色低碳发展提供重要科技支撑。只要将总噪声值下降一个数量级,则l小检测峰就会提高一个数量级。我公司的FID敏感度指标仍是Mt≤1×10-11g/s(正十六烷),和其它厂家的指标一样,但总噪声值低。因此,“氢焰型气相色谱仪只能检测与本底电流值相近”的说法是缺乏根据的。而我们再利用浓缩法,使烃中乙炔检测可以测到ppb级。
定量与误差
每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。我们认为在保证上述条件和满足本底要求条件下,仪器的定量误差主要取决于标准气的准确度(可靠性)。对于痕量成分重复测量的相对误差往往比常量分析大的多。对0.1—10ppm浓度的检测重复性(相对误差),在10—20%的相对误差也是较好的;PPT级的杂质气,可以允许有一个数量级之差。在定量方法上都采用了“外标法”,即使用标准气校正。在实验室可以做到用多种配制标准气方法较正,能得到较高的可靠性。定量与误差每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。而在实际使用中难度很大,因此在标准气的配制上要求是很严格的。
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。很多对于氢气的概念就是爆l炸,很轻等等,然而并不是所有的氢气都这样,高纯氢气只会燃烧,并不会爆l炸,让我们一起了解吧。
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