广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修中心；
涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。过大的轴承间隙，轴瓦松动，油内有杂质，油质(粘度、温度)不良，因空气或工艺液体使油起泡，润滑不良，轴承损坏处理方法：检查后，采取相应措施，如调整轴承间隙，清除油中杂质，更换新油。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。
新设计了独立和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。
在高真空或超高真空范围的应用中，比如分析仪器中的质谱/光谱、真空镀膜、真空冶金、半导体技术等，分子泵经常用于获得所需真空度，VARIAN分子泵维修中心的无油隔膜泵可以获得分子泵（带分子拖动级）所需的前置真空，能够明显地改善所获得真空的清洁度，在许多情况下，这种无油的清洁真空是必须的。相对而言，使用新机械密封的效果好于旧的，但新机械密封的质量或材质选择不当时，配合尺寸误差较大会影响密封效果。
3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
4、不能让涡轮分子泵在额定工作转速下运行。
5、分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
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1分子泵振动，可直接接于被抽系统。
对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。
2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑
机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）
气体振动（气量突变、压强突变）
意外振动（掉入异物、碰撞等）
注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同，一般充填至容积的1/3－1/2为宜。充填量过多时，润滑脂因搅拌发热发生变质，老化和软化。水泵机组和管路在使用一段时期后，应做好水泵保养工作放尽水泵和管路内的剩水。如拆卸方便，可将水泵和管路拆下来，并清理干净。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。
原理：
涡轮增压分子泵内有多个两色主动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上面有很多按一定视角斜置的叶子，如图所示一所显示。具体的涡轮增压分子泵全是由多级别叶列串连构成，即按压片、定片、动片等先后更替排序。动叶子旋转时又类似电扇叶子的功效，能将汽体从一侧抽中另一侧。提升分子泵的转速比，有益于提升分子泵的泵效。因为叶子转速比限定，假如汽体分子热运动速率很大，泵真空包装就较为艰难。当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。VARIAN分子泵维修中心
牵引带分子泵的优势是开机时间短，在分子结构流动底下很高的发动机压缩比，能抽除各种各样汽体和蒸汽，非常适合抽除偏重的汽体。但因为牵引带分子泵泵效小，密封性空隙很小，工作中可信性较弱，易出设备故障，并且生产制造艰难，事实上非常少运用。之后对牵引带分子泵开展了改善，出現了涡轮增压分子泵。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。VARIAN分子泵维修中心
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