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内容摘要：
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如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过？可以使用惰性气体接到MFC进气端，然后将出气口接一根软管再通进水里，如果软管口有气泡冒出，证明MFC是有气体通过的，不过需要注意防止液体倒吸进MFC内，也可以用手将出气口堵死，观察瞬时流量是否有下降，如果有下降，也证明有气体通过，此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。 气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差小于0.1 MPa，微型质量流量计公司， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时，微型质量流量计厂家， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应保证MFC进出气两端......
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