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视频作者:北京晓韬科技有限公司
如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?
可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa,微型质量流量计公司, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时,微型质量流量计厂家, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内,微型质量流量计哪家好, 而且压差要相持续稳定。
质量流量控制器能用比例阀代替吗?
不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,虽然可以起到一定的流量调节作用,但无法做到准确,稳定的流量控制,而气体质量流量控制器(MFC)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,微型质量流量计,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。
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