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内容摘要: 2)炉盖? 它由面板、隔热箱、排气管和放气管道组成。三根气管布于炉盖,多晶硅烧结炉,真空管与氨气气源相联还可供测定炉内压力的压力表用,一根可滴液体,一根供点燃废气用; ?3)炉罐? 炉罐sus321不锈钢板制作,罐底采用平底;炉胆密封槽经较的加工,从而保证了真空罐的气密性。 井式退火炉的设备特点:? 井式退火炉采用保温材料及耐火材料结构砌......

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