2）炉盖? 它由面板、隔热箱、排气管和放气管道组成。三根气管布于炉盖，多晶硅烧结炉，真空管与氨气气源相联还可供测定炉内压力的压力表用，一根可滴液体，一根供点燃废气用； ?3）炉罐? 炉罐sus321不锈钢板制作，罐底采用平底；炉胆密封槽经较的加工，从而保证了真空罐的气密性。 井式退火炉的设备特点：? 井式退火炉采用保温材料及耐火材料结构砌
