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内容摘要：
UPNM/SPS-LJ-1601型蓝宝石基片CMP浆料是山东银丰纳米新材料有限公司生产的水溶性高纯度CMP浆料，具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点, 用于蓝宝石基片软抛加工工艺，能够实现晶片移除率高，表面平整度高、粗糙度低，表面无麻点、腐蚀坑等微缺陷，多项参数达到国际水平。UPNM/SPS-LJ-1601型CMP浆料为2016年新开发的产品，主要以速率稳定性好，表面质量高为优势。......
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