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内容摘要：
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，洁净室安装，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，洁净室安装，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。 洁净室应布置在厂区内环境清洁、人1流、物流不穿越或少穿越的地段。1......
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