一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,洁净室安装,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,洁净室安装,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。 洁净室应布置在厂区内环境清洁、人1流、物流不穿越或少穿越的地段。1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应实际测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。1.3 洁净厂房与交通干道之间的距离宜大于50m。1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路),洁净室安装,如有困难,可沿厂房的两个长边设置消防车道。1.5 洁净厂房周围的道路面层,洁净室,应选用整体性能好、发尘少的材料。1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪,不应种植对生产有害的植物,并不得妨碍消防作业。洁净室: 每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是俗称的1K级别。空态洁净室: 已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员,也没有操作的设备。 产品:通利净化供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单