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内容摘要：
??洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少z低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。??影响洁净室的气流因素很多，洁净室，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超......
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