??洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少z低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。??影响洁净室的气流因素很多,洁净室,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1-00%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,洁净室厂家,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,洁净室厂家,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,洁净室厂家,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。? ??尽管洁净室仍然需要过滤空气,但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果,流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少,穿孔地板的数量减少了,从而在洁净室里更多地使用实心地板。 ? ?? ??传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上,然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用,它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料,而且含有碳元素,具有必要的导电率。地板块的下方,每个支架顶端,放置一个乙烯基/铁丝网接地垫。这保证系统中电流正确贯穿所有构件。 产品:通利净化供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单