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内容摘要：
磁控溅射镀膜机的注意事项1、保持机器内舱各部位的清洁；2、关注真空度指标；3、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因；4、记录溅射功率和时间（一般溅射机的银靶设定功率为0.6千瓦，金靶的设定功率为0.75千瓦，铬的行走速率为9000pps），如有异常，立刻检查造成的原因；5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸；6、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度；7、测试......
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