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内容摘要:
然而在10-9 mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,矩形输送线设计,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构: 中空轴回转工作台消回差结构回转工作台,矩形输送线用途,可采用同步带传动方式;配合圆弧导轨使用,可具有很大的中空空间;此种回转工作台,往往也被称为同步带式中空轴旋转平台:同步带的节距误差得到了精密的控制,和圆弧导轨和同步带轮上的精密加工的齿精密配合;同时同步带中间有V型凸起,可和圆弧导轨和小皮带轮上的V型凹槽紧密配合;上述机械结构设计特点,消除了回转工作台的正反转产生的反向间隙,也就是消除了回差:桁架机械手的工作状态和使用寿命同其结构的动态特......
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