然而在10-9 mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,矩形输送线设计,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构:
中空轴回转工作台消回差结构
回转工作台,矩形输送线用途,可采用同步带传动方式;配合圆弧导轨使用,可具有很大的中空空间;此种回转工作台,往往也被称为同步带式中空轴旋转平台:
同步带的节距误差得到了精密的控制,和圆弧导轨和同步带轮上的精密加工的齿精密配合;同时同步带中间有V型凸起,可和圆弧导轨和小皮带轮上的V型凹槽紧密配合;上述机械结构设计特点,消除了回转工作台的正反转产生的反向间隙,也就是消除了回差:
桁架机械手的工作状态和使用寿命同其结构的动态特性有很大的关系,因此有必要对其进行详细的动态特性分析。动态特性的理论分析和实验研究,麻涌镇矩形输送线,采用的主要方法是模态分析法,包含如下三大部分:
一:静刚度分析
静刚度是衡量桁架机械手性能优劣的一个重要指标。当滑枕沿竖直方向移动到下端时,其伸出量,此时变形也,所以整机的静刚度分析选择此时机械手的位置来计算,可计算出滑枕下端沿各个轴向的静位移量:
X轴向:0.210mm
Y轴向:0.190mm
Z轴向:0.010mm
由计算结果可知,整个机构在X方向的变形量,刚度较弱,这是由于滑枕承载时,横梁产生了扭曲变形所致。同时滑枕也是该机械手静刚度的薄弱环节,可以采用加强筋或增加滑枕铝型材的壁厚等措施来提高静刚度。
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