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内容摘要：
基本参数
X向量程：100mm
X轴检测方法：光栅传感器/分辨率：0.2μm
X轴测量速度：0.1,0.2,0.5,1mm/s，自定义
X轴直线度：1.2μm/100mm
Z向量程：320mm
轮廓部分精度：
Z1向量程：±2mm，±5mm
X轴精度：±（3+0.02L）μm
Z1轴精度：±0.3%f.s.
Z1轴量程与分辨率比例： 65536:1（16位）
Z1轴传感器......
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