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内容摘要：
基本参数
X向量程：100mm
Z向量程：320mm
传感器范围：800μm
测量重复性：±1.5%
线性精度： ±3%
评定长度：λc X 3,4,5,6,7
截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
传感器量程范围：800μm/80μm
分辨率：12nm（800μm量程时）/ 1.2nm（80μm量程时）
X轴及Z轴运动：电动
X轴及Z轴运动......
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联系方式
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