内容摘要:
自然界中纯净的石墨是没有的,石墨舟厂家,其中往往含有Si02、A1203、Fe0、CaO、P2O5、Cu0等杂质。这些杂质常以石英、黄铁矿、碳酸盐等矿物形式出现。此外,还有水、沥青、CO2、H2、CH4、N2等气体部分。因此对石墨的分析,除测定固定碳含量外,还必须同时测定挥发分和灰分的含量。石墨舟是正负间隔连接的,可以等效看成是多个电容器的并联,PECVD石墨舟厂家生产,那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化,导致镀膜的场强变化。建议你增加压力,一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小,然后适当改变气流比例(注意是气流比例,SIH4在特气中的比例较为重要),石墨舟,同时适当等比例增加气流总量!为了能有效增加场强强度,功率也需要增加!PECVD石墨舟 石墨舟的存放:石墨舟应存放在干燥清洗的环境中。由于石墨本身的空隙结构而使其具有一定的吸附性,潮湿或污染的环境......
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