自然界中纯净的石墨是没有的,石墨舟厂家,其中往往含有Si02、A1203、Fe0、CaO、P2O5、Cu0等杂质。这些杂质常以石英、黄铁矿、碳酸盐等矿物形式出现。此外,还有水、沥青、CO2、H2、CH4、N2等气体部分。因此对石墨的分析,除测定固定碳含量外,还必须同时测定挥发分和灰分的含量。石墨舟是正负间隔连接的,可以等效看成是多个电容器的并联,PECVD石墨舟厂家生产,那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化,导致镀膜的场强变化。建议你增加压力,一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小,然后适当改变气流比例(注意是气流比例,SIH4在特气中的比例较为重要),石墨舟,同时适当等比例增加气流总量!为了能有效增加场强强度,功率也需要增加!PECVD石墨舟
石墨舟的存放:石墨舟应存放在干燥清洗的环境中。由于石墨本身的空隙结构而使其具有一定的吸附性,潮湿或污染的环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。 石墨舟其实就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体,可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型,具有导电导热性好、杂质含量低、性强、耐急冷急热等优点,广泛用于硬质合金烧结、粉末冶金、热处理等行业。PECVD石墨舟
正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要,PECVD石墨舟,镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良,形成四周红片。假如镀舟过度,“吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。石墨舟-石金科技石墨制品-石墨舟厂由深圳市石金科技股份有限公司提供。深圳市石金科技股份有限公司为客户提供“销售五金交电,机器设备及部件,金属材料及其制品”等业务,PECVD石墨舟设计,公司拥有“石金科技”等。专注于工业制品等行业,在广东 深圳 有较高度。欢迎来电垂询,PECVD石墨舟
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