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内容摘要：
真空镀膜机的维修方法介绍一、当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）2、坩埚被打穿（更换坩埚）3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更......
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