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内容摘要：
洁净室检测状态之-空态、静态、动态术语:在《洁净厂房设计规范中》中给洁净室的三种状态做了以下定义:空态 as-built洁净室测试设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。静态 at-rest设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，洁净室检测公司，但无生产人员。动态 operational设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)空态洁净室的检测(IQ)检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:1、洁净室设备的成套性......
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