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内容摘要：
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。真空泵与系统的连接管道应密封可靠，惠东真空泵，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，罗茨真空泵，严禁焊渣进入真空泵腔。）
选择标准首先要明确泵的用途。我们分三大类逐一讨论。一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，旋片式真空泵，按输出压力从大到小依......
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