真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
真空泵与系统的连接管道应密封可靠，惠东真空泵，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，罗茨真空泵，严禁焊渣进入真空泵腔。）
选择标准首先要明确泵的用途。我们分三大类逐一讨论。
一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。
简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，旋片式真空泵，按输出压力从大到小依次可选:PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。
二、如果是以下几种情况，则应该选用PHW600B或WAA系列产品。
1、用泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。
2、要求微型泵既能抽气又能抽水
气体采样泵有:PM系列(具体型号如:PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有: VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。
对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数'进气口允许阻力'Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型:①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，螺杆真空泵，或管道内孔很小(比如小于φ2毫米);②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件;③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小;④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等);⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。
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