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内容摘要：
可对应硅片的内部缺陷检测。
【内部检测】:当线性光照射硅片时，会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。
【缺陷种类】：PIN HOLE
【生产能力】；每片检测快只需 25S
【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出
【检测范围】：除边缘2mm
【检测对象】：8~12寸 抛光片&外延片......
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