可对应硅片的内部缺陷检测。 【内部检测】:当线性光照射硅片时，会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。 【缺陷种类】：PIN HOLE 【生产能力】；每片检测快只需 25S 【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出 【检测范围】：除边缘2mm 【检测对象】：8~12寸 抛光片&外延片
