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内容摘要：
无尘室温湿度控制方法：1、无尘室温湿度维护管理。①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），万级洁净室厂家，做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。2、室内发尘不积留。墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。3、发生尘埃排除。换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。 净化技术的设备发展 对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个和地区科学......
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