内容摘要:
光学微电子净化工程解决方案:2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高1效送风口缺点: A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置; B.空调机组与空调处理机组要集中布置; C.造价较低。特点:这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。 净化工程气压规定: 对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,洁净室,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,洁净室施工,也都在探求降低风速的可行性。在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s水平平行流(层流)洁净室≥0.3......
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