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内容摘要：
第三代：低温等离子技术主要原理是，通过给气体外加电压至气体的放电电压，使气体被击穿，产生各种强氧化性的低温等离子。空气净化工程在提高产量等方面有很明显的效果，据国外文献的报导，对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验，在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散，100级洁净室中产品的性能分布集中，而且峰值出现在更的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散，性能也极不稳定。可以看出，①有无空气净化，产品成品率有很大差别，②为了提高产量，不仅生产产品的环境需要洁净，而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行。 在净化工程中怎样有效的防止静电的产生1.铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。2.半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，合肥净化工程，这种防静电盛放器有良好......
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