第三代：低温等离子技术
主要原理是，通过给气体外加电压至气体的放电电压，使气体被击穿，产生各种强氧化性的低温等离子。
空气净化工程在提高产量等方面有很明显的效果，据国外文献的报导，对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验，在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散，100级洁净室中产品的性能分布集中，而且峰值出现在更的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散，性能也极不稳定。可以看出，①有无空气净化，产品成品率有很大差别，②为了提高产量，不仅生产产品的环境需要洁净，而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行。
在净化工程中怎样有效的防止静电的产生
1.铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。
2.半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，合肥净化工程，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
3.对于操作人员应在手腕上带防静电手带，洁净室净化工程，这种手带应有良好的接地性能，这种措施是为有效的。
净化工程主要的技术特征和优点
1、操作简单，净化工程设计，维修方便 没有空调机房，不须专人操作，无尘车间净化工程，由于风机箱及空气过滤器是根据需要分组设置的，所 以维修和使用还可分单元进行。
2、充分利用现有厂房，挖潜增效 利用现有厂房改造洁净室，施工周期短，造价底，灵活实用，是企业挖潜增效的途径。
3、空调制冷迅速，节能显著：通常，洁净室的温度调节都是由空调将空气冷却后再送到洁净室。种方法需要大量风管 进行长距离送风，沿途阻力式损失和温度损失造成很大的能源损耗。
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