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真空泵漏气主要原因水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。 真空泵分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵......
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