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视频作者：凯德金（北京）科技发展有限公司
真空泵漏气主要原因
水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
真空泵供水量不足的调节方法
水环式真空泵启动后，在整个过程中连续供水，使其压力平衡，循环水真空泵公司，并有足够的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准的供水量，可以按照程序调节供水阀。水环真空泵正常运行后，适当打开供水阀，循环水真空泵生产厂家，观察入口真空计的压力。慢慢关闭小供水阀的开度。当真空表指针开始波动或下降时，供水量不足。慢慢打开供水阀。当真空表指针再次稳定时，供水量为标准供水。当水环式真空泵供水不足时，设备的抽气能力下降，工作不稳定。当供水过多时，会造成水资源浪费，增加泵的轴功率，循环水真空泵，甚至烧坏电机。水环真空泵的供水量可以调节，我们只需要按照上述方法进行调节，在使用过程中必须做好供水阀的操作。必须正确调整设备的供水量，提高设备的效率。
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