派瑞林parylene真空气相沉积设备又名派瑞林镀膜机、哌拉伦镀膜机,是用于电路板pcba、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、led/oled、传感器、微电子产品、电池、医疗产品、书籍画卷等产品镀膜的设备,与传统的三防喷涂设备不同,它采用了一种的化学气相沉积工艺(cvd),沉积过程主要有以下三个步骤: 1、真空环境,温度130℃条件下,固态派瑞林材料升华成气态。 2、真空