LED炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。 主要性能指标： 外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管 工作温度：200℃—1100℃ 恒温区长度：≥600mm 硅片规格：适用于2—6英寸硅片以及碎片 恒温区精度：≤±1℃(在400—1000℃范围内) 单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h(在400—100
