太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。 技术指标： 可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm 外型形式：卧式1—4管结构 载片量：400片／管 扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭 工作温度：200
