Pinnacle+Plus拥有坚硬的花岗岩支撑结构和的Z轴移动组件，使测量微电子零件和组件时产生尽可能低的不确定性. 好的线性马达控制技术造就了运行速度快,可靠的免维护平台,满足了从无尘室到工厂车间的生产环境中,大容量,的操作。 特征： X,Y,Z 行程 (毫米)：250 x 150 x 50 X,Y,Z 光栅尺分辨率：XY - 0.05 μm, 零膨胀材料，Z - 0.01μm, 零
