新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统做出来，采用了VMM 公司好的设计和技术。 , 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备好通用可某靠。 扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm 透射照明 完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准 符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节
