机型\项目 TG5 TG6-9 镀膜室规格 Ǿ700mm -800mm *800mm -880mm Ǿ900mm -1000mm *1000mm -1200mm 极限真空度 ≤7.6×10-4Pa 冷态抽真空时间 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 机组配置 KT-400扩散泵机组 KT-400扩散泵机组