机型\项目 TG5 TG6-9
镀膜室规格 Ǿ700mm -800mm *800mm -880mm Ǿ900mm -1000mm *1000mm -1200mm
极限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置 KT-400扩散泵机组 KT-400扩散泵机组
或KT-500扩散泵机组 KT-600扩散泵机组
靶配置 5个电弧靶1个磁控靶 6-9个电弧靶2个磁控靶 2个弧靶2对孪生靶
配电要求 40KW 50KW 60KW
备注 可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备
