镀锌风管的排气类型分类（1）一般排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷，镀锌风管加工，因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注：GEX采用镀锌螺旋风管，镀锌风管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、碱排（AEX）系统流程：（2）酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸
