硅片上有了电路图的图样后,就轮到刻蚀机登场,刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工,在硅片表面雕刻出晶体管和电路。 芯片主要是精度要求高。纳米精度是什么概念呢?是我们肉眼无法分辨的,大概相当于一根头发丝的5000分之一纳米细小。 光刻机几个关键部件: 光源:必须稳定、高质量地提供指i定波长的光束。 能量控制器:就是电源。电源要稳定、功率要足够大,否则光源发生器没办法稳定工