玻璃缺陷方法，离子轰击处理：离子轰击或称离子蚀刻、离子溅射，在表面测试仪中常用来清洁样品表面。常用的溅射离子为Ar+，由离子枪加速，加速能量为500、104ev，工作电流为1、200A。溅射的Ar+可逐步剥去表面污染物质，有色玻璃，随溅射时间的延长，剥去的表面层深度也随之增加。在利用高能离子轰击玻璃污物的同时，也会使玻璃表面自身的一些组成蚀刻去，所以应控制适当的溅射速度和溅射时间，以获得清洁的
