激光干涉仪组件 要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据，工业激光干涉仪，需要使用激光测量系统的以下组件，主要有：XL 激光头、三脚架和云台、XC 环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学
