? ??目前国外电动位移台的研究非常成熟,不管是驱动还是传动方式研究都比较深入,在国内这方面的知识还比较欠缺,但是经过科研人员的不断努力,国产的电动位移台也具有超,可以进行多方面的测量。? ??在国内生产的电动位移台采用的系统,选择直线空气导轨,以及超精密音圈电机为驱动,电动位移台长行程,分辨率比较高,可以达到0.5nm,相应时间也比较短,一般小于0.5ms,可以进行高精密运动,所以使用范围比较广