Foundry在流片时,由于版图效应(LDE),终加工的版图在尺寸和金属属性上会有偏差。偏差导致实测结果和EDA结果有差异,所以设计阶段的EM建模会不精准,增大流片失败风险。在工艺上,LDE问题更加显著。在EM建模中,如果EM工具能考虑LDE问题,验证就能更接近实测值。Foundry提供的PDK会有LDE信息,主要是涵盖下面几点:(1) ?体电阻率随线宽、线间距不同的差异表;(2) ?方块电阻随线