广州帕纳光电科技有限公司----STP-301磁悬浮分子泵维修;一切正常工作中时必须一定的前面真空值,其真空值高矮视泵不一样略微差别,一般在1-201080a中间,可选用机械泵做为前面泵,下面图中便是由玛丽亚分子泵和机械泵构成的高真空机组。因为涡轮分子泵的转速比高,一般 用高频电动机推动,中频感应炉的頻率在300-400HZ中间。涡轮分子泵一般选用水冷散热方法。STP-301磁悬浮分子