脉冲激光沉积系统的配置介绍沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积，激光脉冲沉积装置，我们为您分析该产品的以下信息。1.靶: 数量6个，大小1-2英寸，被激光照射时可自动旋转，靶的选择可通过步进电机控制;2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片，大小2英寸，加热温度可达1200摄氏度，激光脉冲沉积装置厂家，温度差<3%，加热时基板可旋转，工作环境的压力可达300mtorr;3.基板
