ICP刻蚀机的结构想要了解更多ICP刻蚀机的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。ICP设备主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。（1）预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，不受外界环境（如：粉尘、水汽）的影响，将危险性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。（2）刻蚀腔体刻蚀腔体是ICP 刻蚀设备的结构，它对刻蚀速
