产品特性： &8226 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性 &8226 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率 &8226 zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。 &8226 支持堆叠/同时溅射多个阴极 &8226 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工 &8226 可以记录数据 产品应用： &8226
