如何减少真空镀膜机中的灰尘如何减少真空镀膜机中的灰尘1、使用的源材料要符合必要的纯度要求；2、样品取出后放置的环境要注意清洁问题；3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；5、工作人员要有专门的工作服装，操作要戴手套、脚套等；6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；7、技术上明确允许的大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的
