? ? 化学法中，西门子法（Siemens process）广为早期生产半导体级多晶硅的业者所采用，此法技术成熟但成本较高。除西门子法外，尚有ASiMi法、流体床反应法与管状沉积法等。ASiMi法是Advanced Silicon Material （ASiMi）公司所研发，系利用硅（silane/ SiH4）为原料的高纯度多晶硅制程技术。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市场，大部分股权由挪威R
